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气体稀释校准器 便携、架装、台式

简要描述:

稀释气质量流量计可控制到0-10SLM;
源气质量流量计可控制到0-100SCCM;
2路校准口入口和1路吹扫口;
1路稀释气入口,3路输出口和1路排空口

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稀释气质量流量计可控制到0-10SLM;
源气质量流量计可控制到0-100SCCM;
2路校准口入口和1路吹扫口;
1路稀释气入口,3路输出口和1路排空口

稀释入口:1路标准;

源气入口:1路标准,1路吹扫;

稀释流量:0-10SLM(0-20SLM可选);

源气流量:0-100SCCM(0-2SLM可选);

流量精度:≤1%FS;

流量重复:≤±0.15%FS;

线    性:≤±0。5%FS;

响应时间:<1分钟;

操作:按键,键盘,串口,USB,以太网;

校准定义:20个工厂配置流路,每个流路可zui大20个线性点;

校准类型:稀释气,臭氧,GPT;

仪器特点:

操作简单,方便;

温度显示稳定,可靠;

压力可调,面板带压力表;

可方便地放入渗透管。

性能参数

温度控制:基于微处理器的比例温控系统;

温度传感器:RTD;

前面板安装:调压器,压力表,温控器,稀释炉入口

特氟龙炉身尺寸:内径3。09cm,长度12。7cm,

    温控范围:高于环境温度2℃到65℃,

 

性能参数

温度控制:基于微处理器的比例温控系统;

温度传感器:RTD;

前面板安装:调压器,压力表,温控器,稀释炉入口

特氟龙炉身尺寸:内径3。09cm,长度12。7cm,

    温控范围:高于环境温度2℃到65℃,

联系方式
  • 电话

    010-84726306

  • 传真

    010-84723212

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